【专利摘要】铝合金抵抗腐蚀能力硬质阳极氧化工艺，属于硫酸阳极氧化工艺技术领域。具体步骤为：对铝合金6061?T6/T651材料工件进行硫酸阳极氧化处理，通过对工件进行硬质阳极氧化处理：将工件放入10?15％wt的硫酸溶液，控制温度为?1?1℃，调整电流密度为1?1.5A/dm2，升流时间为5?10min，反应时间为3?4h，要求膜厚50?100um；将工件进行封孔处理，将阳极好工件放入92?100℃的纯水中经行封孔，封孔时间为4?6小时；使用压缩空气吹干，静止24小时。从而得到致密的氧化膜，此阳极膜进行5％的盐酸气泡抵抗腐蚀能力测试观察阳极膜的耐腐蚀能，耐腐蚀时间达到8h以上，因此具有较高抵抗腐蚀能力能。

  [0001]本发明属于硫酸硬质阳极技术领域，特别是涉及一种抵抗腐蚀能力硫酸硬质阳极氧化工艺，适用于IC装配关键耐腐蚀性反应腔体硬质阳极工艺。

  [0002]耐腐蚀性硫酸硬质阳极氧化工艺，有其特别的重要性。硫酸硬质阳极工艺由于其特殊性能在工业生产里存在广泛的应用，IC领域中对硬质阳极工艺性能要气慢慢的升高，尤其阳极膜的耐腐蚀和抗老化性能，其广泛应用与关键反应腔体及其它关键零部件，开发具有较高耐腐蚀硬质阳极，提高设备性能及常规使用的寿命有重要意义。

  [0003]针对上述存在的技术问题，本发明提供一种耐腐蚀性硫酸硬质阳极氧化工艺，对铝合金材料工件进行硫酸阳极氧化处理，经过控制阳极过程中硫酸浓度，反应温度，及电流密度等。从而得到致密的氧化膜，此阳极膜进行5 %的盐酸气泡抵抗腐蚀能力测试时间达到Sh以上，具有较高抵抗腐蚀能力能。

  [0006](I)将铝合金材料6061-T6/T651工件进行阳极前处理，首先抛光打磨工件表面，要求Ra〈16uin，清理洗涤干净后，去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面杂质；

  [0007](2)对工件进行硬质阳极氧化处理:将工件放入10_15%wt的硫酸溶液，控制温度为-1?TC，调整电流密度为l_1.5A/dm2，升流时间为5-10min，反应时间为3-4h，要求膜厚50_100um;

  [0008](3)将工件进行封孔处理，将阳极好工件放入92_100°C的纯水中经行封孔，封孔时间为4-6小时;使用压缩空气吹干，静止24小时；

  [0009](4)使用5%wt的盐酸溶液经行盐酸气泡抵抗腐蚀能力测试，抵抗腐蚀能力硫酸硬质阳极氧化工艺试片抵抗腐蚀能力测试时间达到8h以上。

  [0010]进一步地，所述前处理采用碱咬去除表面氧化皮，水洗后使用50%硝酸洗去除表面杂质。

  [0012]进一步地，所述盐酸溶液经行盐酸气泡抵抗腐蚀能力测试即:将玻璃管使用遮封胶水，粘附在试片表面，在玻璃管内加入测试用5 盐酸溶液液位高2-3cm，测试区域溶液同一个点在一秒钟内连续冒三个以上气泡，代表测试结束，记录结束时间。

  [0014]本发明可有效提升工件的耐腐蚀和抗老化性能的阳极膜，使用5%Wt的盐酸溶液经行Bubble Test，即将玻璃管使用遮封胶水，粘附在试片表面，在玻璃管内加入测试用5%wt盐酸溶液液位高2-3cm，测试区域溶液同一个点在一秒钟内连续冒三个以上气泡，代表测试结束，记录结束时间。抵抗腐蚀能力硫酸硬质阳极氧化工艺试片抵抗腐蚀能力测试时间达到Sh以上。

  [0016]实施例1:本发明包括如下步骤:(1)将铝合金材料6061-T6/T651工件进行阳极前处理，首先抛光打磨工件表面，要求Ra〈16uin，清理洗涤干净后，进行碱咬去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面杂质。

  [0017](2)对工件进行硬质阳极氧化处理，将工件放入12 % Wt的硫酸溶液，控制温度为O°C，调整电流密度为lA/dm2，升流时间为7min，反应时间为3.5h，要求膜厚80um。

  [0018](3)将工件进行封孔处理，将阳极好工件放入96 0C的纯水中经行封孔，封孔时间为5小时。使用压缩空气，静止24小时。

  [0019](4)使用5 % Wt的盐酸溶液经行盐酸气泡抵抗腐蚀能力测试，即将玻璃管使用遮封胶水，粘附在试片表面，在玻璃管内加入测试用5 % wt盐酸溶液液位高2.5cm，测试区域溶液同一个点在一秒钟内连续冒三个以上气泡，代表测试结束，记录结束时间。抵抗腐蚀能力硫酸硬质阳极氧化工艺试片抵抗腐蚀能力测试时间达到Sh以上。

  [0020]所述前处理采用碱咬去除表面氧化皮，水洗后使用50%硝酸洗去除表面杂质。

  [0021]实施例2:本例与实施例1不同的是:本例中步骤(2)对工件进行硬质阳极氧化处理，将工件放入10%Wt的硫酸溶液，控制温度为-l°c，调整电流密度为lA/dm2，升流时间为5min，反应时间为3h，要求膜厚50um。

  [0022]步骤(3)将工件进行封孔处理，将阳极好工件放入92_100°C的纯水中经行封孔，封孔时间为4小时。

  [0024]实施例3:本例与实施例1不同的是:本例中步骤(2)对工件进行硬质阳极氧化处理，将工件放入15 %wt的硫酸溶液，控制温度为10C，调整电流密度为1.5A/dm2，升流时间为I Omin，反应时间为4h，要求膜厚I OOum。

  [0025]步骤(3)将工件进行封孔处理，将阳极好工件放入92-100°C的纯水中经行封孔，封孔时间为6小时。

  1.耐腐蚀性硫酸硬质阳极氧化工艺，其特征是:包括如下步骤: (1)将铝合金材料6061-T6/T651工件进行阳极前处理，首先抛光打磨工件表面，要求Ra16uin，清理洗涤干净后，去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面杂质； (2)对工件进行硬质阳极氧化处理:将工件放入10-15%wt的硫酸溶液，控制温度为-1?TC，调整电流密度为l_1.5A/dm2，升流时间为5-10min，反应时间为3-4h，要求膜厚50-1OOum； (3)将工件进行封孔处理，将阳极好工件放入92-100°C的纯水中经行封孔，封孔时间为4-6小时;使用压缩空气吹干，静止24小时； (4)使用5% wt的盐酸溶液经行盐酸气泡抵抗腐蚀能力测试，抵抗腐蚀能力硫酸硬质阳极氧化工艺试片抵抗腐蚀能力测试时间达到8h以上。2.如权利要求1所述抵抗腐蚀能力硫酸硬质阳极氧化工艺，其特征是:所述前处理采用碱咬去除表面氧化皮，水洗后使用50%硝酸洗去除表面杂质。3.如权利要求1所述抵抗腐蚀能力硫酸硬质阳极氧化工艺，其特征是控制参数为:温度为-1?1°C，调整电流密度为I?1.5A/dm2，升流时间为5?lOmin。4.按照权利要求1所述抵抗腐蚀能力硫酸硬质阳极氧化工艺，其特征是:所述盐酸溶液经行盐酸气泡抵抗腐蚀能力测试即:将玻璃管使用遮封胶水，粘附在试片表面，在玻璃管内加入测试用5%wt盐酸溶液液位高2-3cm，测试区域溶液同一个点在一秒钟内连续冒三个以上气泡，代表测试结束，记录结束时间。

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